重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
- ·黑卡信用卡有哪些人有?郑爽黑卡等级 全球顶级黑卡排名
- ·英伟达高管解读Q3财报:全力推进Blackwell生产 本季度交付量将超此前预估
- ·俄妹COS《寂静岭2RE》玛利亚:身材超越原版
- ·贾跃亭还钱最新消息 从酷派撤退转让价款被招商银行抵消
- ·无人超市会取代传统超市?业内人士:不至于
- ·预制菜明确不允许添加防腐剂 六部门发文首次明确预制菜范围
- ·今天(10月1日)油价调整最新消息:涨幅未破线 10日或搁浅
- ·买保险送茅台 华贵人寿领新年“一号罚单”和并罚款130万
- ·5只FOF明日迎首发 公募FOF怎么投资?费率多少?
- ·2018年3元福字币收藏价值:漏窗镌刻乾隆皇帝手书“福”字
- ·芝士超人怎么玩?芝士超人APP答题赚奖金攻略
- ·德尔惠倒闭停业的生死疑云:天猫旗舰店仍在运行中
- ·贝因美闪崩跌停 中报业绩不佳或遭到抛售
- ·测试车高速逃费 小米:已补缴 微博发情况说明
- ·5种门诊慢特病将新增纳入医保跨省直接结算
- ·711回应门店停售农夫山泉:个人行为,不代表总部立场